FEMTO PLASMA CLEANER [ Electron Microscopy]
功能：主要用于除去电镜样品及样品杆上的污染，碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。适用于场发射扫描电镜和场发射电镜。
外型尺寸: W 345mm, H 220 mm, D420 mm
反应室尺寸: ？ 80 mm, L270 mm
气体供应: 流量控制型
射频发生器: 40kHz/100 W
真空泵: Leybold, Te S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: PCCE控制
附件： TEM 舱门
功能：主要用于除去电镜样品及样品杆上的污染，碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。适用于场发射扫描电镜和场发射电镜。
外型尺寸: W 345mm, H 220 mm, D420 mm
反应室尺寸: ？ 80 mm, L270 mm
气体供应: 流量控制型
射频发生器: 40kHz/100 W
真空泵: Leybold, Te S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: PCCE控制
附件： TEM 舱门
