采用复合材料,此为目前的震材料,其震效果为花岗岩的8倍,铝合金的30倍,钢材的45倍。
常温制程,不产生内应力,不污染环境;结构组织致密,对温度及碳氢化合物不敏感,环境污性特佳。
三轴具有温度自动补偿功能,使用标准电源(110/220V),无需使用空压机。
床式桥架型架构,负荷轻(1~5%荷重),移动惯性小,结构佳不变形。
采用德国Heidenhain高非接触式光学尺,分辨率达 0.1μm,另采用英国 Renishaw三坐标测针/测头系统,扩充性良好。
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