MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来,MEMS具有以下几个基本特点,微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。
MEMS压力传感器,是由扩散硅充油芯体和微型放大处理电路组成,被测压力致使芯体底部膜片产生形变,通过微型放大处理电路处理,将压力转化为标准信号输出(4-20mA、1-5V等)。测量范围、输出方式可根据客户要求订制。
◆产品特点:◆应用领域:
◇具有反性保护◇航空航天、石油化工、等领域
◇高压、耐腐蚀◇船用柴油机中压力的检测
◇工作温度范围广◇车用柴油机中喷力的检测
◇冲击性和振动◇汽车及工程机械上发动机机力的检测
◇响应速度快,长期稳定性好◇汽车及工程机械上气体制动的油气压力的检测
◇体积小巧,易于安装
◇高,全不锈钢结构