用于光化学清洗,,产生臭氧、降解物、碳去除(TOC)、制造纯水等。有185nm和254nm两个主要波段.主要有日本的ORC、SEN、EYE 德国Heraeus 美国Aquafine Trojan 荷兰 等品牌.常用如SUV90-43、SUV90-59可用于涂料的硬化、Hard coat(硬化膜)树脂的硬化、SiO2烧成前的改质。
低压水银灯管:长达6000小时寿命的低压灯管可稳定放出波长为254nm与185nm的紫外线。以波果所产生的氧与波长能量来进行物的除去及改质等UV洗净作业。可用于洗净液晶玻璃基板的物(亲湿性),或是用来进行film等的改质。
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