Low-E玻璃（磁控溅射镀膜配套设备）真空泵详细信息
一、滑阀式真空泵 制造商：浙江锃光真空设备有限公司
型号：H-150滑阀真空泵
主要参数
限真空： 1 pa（帕） 抽气速率 ：150L/s（升/秒）
电机功率: 15kw（千瓦） 进气口径：150mm（毫米）
排气口径 ：80mm（毫米）
产品特点及应用范围
1、真空度高，H系列滑阀真空泵，真空度为1Pa
2、振动少，噪声低，轴承密封室单独供油，与泵腔隔开，避免了杂质进入轴承、密封过早损坏;
3、适用于抽吸空气及其他一般性气体，当使用气镇时，亦能抽吸含有掌上少量的可凝性气体（如水蒸汽）。
4、可单独使用，也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等高真空泵的前级泵，相对于旋片式真空泵。
5、该型滑阀泵经久耐用，使用寿命长。
6、该泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、人造石，分子蒸馏、航空模拟试验使用较多; 可应用于镀膜、电工、无尾真空机、电子、冶金、化工、陶瓷、航空、单晶硅、单晶炉、实验室等多种场合。
二、罗茨真空泵
1、型号:ZJP-300罗茨真空泵
主要参数
限真空：5*10-2 pa（帕） 抽气速率 ：300L/s（升/秒）
电机功率: 4kw（千瓦） 进气口径：150mm（毫米）
排气口径 ：150mm（毫米） 制造商：浙江锃光真空设备有限公司
2、型号:ZJP-600罗茨真空泵
主要参数
限真空：5*10-2 pa（帕） 抽气速率 ：600L/s（升/秒）
电机功率: 7.5kw（千瓦） 进气口径：200mm（毫米）
排气口径 ：200mm（毫米）
3、型号:ZJP-1200罗茨真空泵
主要参数
限真空：5*10-2 pa（帕） 抽气速率 ：1200L/s（升/秒）
电机功率: 11kw（千瓦） 进气口径：250mm（毫米）
排气口径 ：200mm（毫米）
产品特点及应用范围:
因转子采用高数控机床加工，并作精细平衡校验，具备良好的几何对称性，转子啮合间隙均匀。泵体、侧盖采用机床加工，高。因此本公司罗茨真空泵运转平稳、噪声低、振小、限真空度高。被广泛使用于真空浇铸、真空熔炼、真空脱气、真空镀膜行业及化工医药行业的真空蒸馏、真空干燥等。
●因泵的传动部件采用的消隙结构，故泵可高压差下长期工作。
●起动快，能在短时间内限真空。
●因泵腔内无互相滑动的件，无需用油润滑，避免了油蒸汽对系统的污染。
●，ZJP系列本身配带溢流阀起自动保护作用。
●结构紧凑，占地面积小。左、右、下面三个排气口可以任选一个，方便用户安装。
