晶圆片充氮烘箱

　　充氮厌氧烘箱于硅片（或晶片、晶圆片、圆片）进行清洗之后干燥硅片工艺。
　　PHH-系列充氮厌氧烘箱特点：
　　1）全周氩焊，硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，机台本身产生微尘；
　　2），可以和工作场同样的地洁净等级；
　　技术参数：
　　1.型号：PHH-1008
　　2.工作尺寸（mm）：W1400×H1300×D600（宽*高*深）
　　3.外形尺寸（mm）：W1990×H1850×D810（宽*高*深）
　　4.送风方式：强制送风循环。
　　5.温度范围：RT＋10℃～300℃。
　　6.温度波动：<±0.5℃。
　　7.温度均匀：±1.5%。
　　依测规范：测SENSOR置放点，离内箱壁内尺寸1／10处。
　　8.温控装置：日本富士P.I.D智能温控仪表，LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。
　　温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。
　　测温装置：1支PT100铂电阻温度传感装置，测温。
　　定时装置：HS48S-99.99定时仪表。
　　9.内室材料：采用　1.0mm厚度SUS不锈钢钢板板金折弯加工，周身做氩弧焊满焊，密闭，氮气不泄露；外箱优质SUS不锈钢数字加工而成，美观大方。
　　10.保温材质：硅酸铝。
　　11.特质复合式SUS304＃不锈钢电热产生器。
　　12.保护装置：温保护，欠相保护，过载保护器，蜂鸣器，开门氮气自动中断保护