【技术服务及报价请咨询：赵先生，电话：;工作】
残余气体分析仪（四质谱仪）
ToolCheck在真空诊断中是的概念，它桥接了真空计与RGAs之间的空隙。这台简易的高功能仪器用于监测真空系统，地辨别常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速消除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。简单的指令组易于写入用户特定的码，将ToolCheck集成于您的系统控制器。
Transpeor 2的特点
·I100－，200－，和300－amu系统带法拉第杯或电子器/法拉第杯的组合。
·改进的氢检测。
·与原始的Transpeor相比讯噪比10倍
·快速扫描低值讯号
·个量级的电子学动态量程
·用于单传感器和多传感器系统的软件选件
·分压测量从1×10-4乇至2×10-14乇
Transpeor 2是基于四场的智能传感器，传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵，您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接，RS232用于单传感器，RS485用于多传感器配置，将Transpeor2连接控制计算机。简单的指令协议支配Transpeor功能。
Transpwor XPR3气体分析系统 |
用Transpwor XPR3进行工艺监测可为您提供有关污染程度、出气量值、气体纯度和设备运行的实时数据。 |
这个信息有助于产量与产额的化，由于问题的及时监测与诊断而降低损耗，由于更地采取性维护程序，可设备的运行时间。 |
TRANSPEOR XPR3的特点 |
·新设计的离子源使污染的产生小化，从而延长使用寿命 和提供更清楚的讯号。 |
·新型EM在PVD工艺压强下工作，提供更快速、清晰的数据收集和免除FC至EM的转换，简化数据的解译过程。 |
·新型加长的四杆场可低质量范围的过滤能力，质谱仪分辨同位素的灵敏度，从而氢的监测灵敏度。 |
Transpwor XPR3是新一代的高压强四场工艺气体分析仪。它研发于先前INFICON系统成功的基础上，在物理相汽沉积（PVD）检测中具有高的灵敏度、度和灵。一系列技术上的使轻便型Transpwor XPR3的工作范围从20耗乇至真空，无需大型负责的压强转换设备。 |
TRANSPEOR XPR3的应用 |
·PVD工艺模块 |
·预清洗模块 |
·Non-cluter PVD设备 |
·Clamped的除气模块 |
