技术特点：
1.三轴有明显制动开关和手动旋扭，设计合人体工学，操作更简单便捷。
2.双重被动减震，低频震动影响，大的了机器测量的。
3.三轴全为高度精密花岗岩导轨，整体同比率变化。具有良好的温度稳定性和时效变形能力，刚性好、几何变形小。
4.四面全环抱式气浮轴承设计，运动更稳定，维护简单。
5.的气路系统，各轴多气压调节，的了机器运行的平稳和。
6.可增加CCD镜头为复合式三坐标，一机多用。
测量范围 X 400 400/500 400/500
（mm）Y00
Z00
机器重量KG 400 430/480 500/560
承载KG 200 220/240 250/280
光栅分辨率 1um
测量um MPEe＝3＋L/250 MPEp＝3.5
空气消耗 25 L/min
1.三轴有明显制动开关和手动旋扭，设计合人体工学，操作更简单便捷。
2.双重被动减震，低频震动影响，大的了机器测量的。
3.三轴全为高度精密花岗岩导轨，整体同比率变化。具有良好的温度稳定性和时效变形能力，刚性好、几何变形小。
4.四面全环抱式气浮轴承设计，运动更稳定，维护简单。
5.的气路系统，各轴多气压调节，的了机器运行的平稳和。
6.可增加CCD镜头为复合式三坐标，一机多用。
测量范围 X 400 400/500 400/500
（mm）Y00
Z00
机器重量KG 400 430/480 500/560
承载KG 200 220/240 250/280
光栅分辨率 1um
测量um MPEe＝3＋L/250 MPEp＝3.5
空气消耗 25 L/min
