产品型号 | D07-11CM |
产品类型 | 高耐压型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
产品 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
重复 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
响应时间 | ≤10sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | 无阀 |
温度系数 | - 无 - |
点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | ＜0.02 MPa |
漏率 | 1×10-9atm?cc / sec He（1×10-10 Pa?m3 / sec He） |
标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
电磁干扰 | CE |
重量 | 1Kg |
北京七星华创电子股份有限公司
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