PE-310 PECVD 气相淀积设备
设备型号：PE-300
设备主要特点：
紧凑型设计：标准单台三管（二管，四管可选），减少占地面积。
各种气体控制流量：数字式MFC的运用，比模拟式的控制，还消除了模拟传输的干扰。工艺生产的稳定性。
系统控制：全部件，自动压力闭环调节系统，控制反应室内真空环境。
高频电源：高频电源稳定。
送片方式：高定位和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆，运行平稳，无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
封门系统：密封的炉门设计，减少炉内热量的损失，并减少了温度恢复时间。与装载区隔离，装载区无污染，避免操作人员受有毒气体的损害。
管路：工艺管路采用阀门管件组成--气密性好，耐腐蚀，无污染（管路均采用PE级电抛光管路）。
自动装载机械手（可选）。
设备型号：PE-300
设备主要特点：
紧凑型设计：标准单台三管（二管，四管可选），减少占地面积。
各种气体控制流量：数字式MFC的运用，比模拟式的控制，还消除了模拟传输的干扰。工艺生产的稳定性。
系统控制：全部件，自动压力闭环调节系统，控制反应室内真空环境。
高频电源：高频电源稳定。
送片方式：高定位和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆，运行平稳，无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
封门系统：密封的炉门设计，减少炉内热量的损失，并减少了温度恢复时间。与装载区隔离，装载区无污染，避免操作人员受有毒气体的损害。
管路：工艺管路采用阀门管件组成--气密性好，耐腐蚀，无污染（管路均采用PE级电抛光管路）。
自动装载机械手（可选）。
