Throlabs公司的NanoMax系列6轴位移平台是纳米量级定位的强有力工具,它在两个方面具有:一个通用支点和一个允许驱动器和通用底座连接的设计。NanoMax系列的调节范围为:X、Y、Z轴上0.16"(4 mm),θx,θy,θz上6°。可选的压电传动器可进行闭环操作。装置整体采用高刚度的柔性设计,X轴方向扭矩为1N•m,Z方向为0.5N•m.整个装置具有大于130Hz(&plun;10%)的高共振频率。带有固定驱动装置的平行柔性机构是Thorlabs 的技术,该技术使自由度拥有通用支点,简化了调整过程,也降低了维护费用。图1为六轴位移平台外观。
NanoTrak自准直控制器将智能主动反馈的准直控制系统和两通道压电控制器整合到一个台式单元中。NanoTrak是构建准直系统的基本单元,可以被集成在运动定位系统中。作为APT系列中的一部分,本系统代表了光学准直技术新成果。