多轴精密运动平台 ：采用直接驱动电机，无丝杠传动，全伺服驱动。微光栅编码器作为信号反馈机制，有多种结构形式，重复定位1微米到10微米，行程可定制。
支承系统可选空气轴承、滚珠导轨、滚柱轴承等。速度快，速度5米／秒（300米／分），加速度大，加速度1G到10G可选。
主要应用领域：精密运动设备、精密测试测量、电子设备、数控机床、MEMS、设备等。
支承系统可选空气轴承、滚珠导轨、滚柱轴承等。速度快，速度5米／秒（300米／分），加速度大，加速度1G到10G可选。
主要应用领域：精密运动设备、精密测试测量、电子设备、数控机床、MEMS、设备等。
