概述
NG-A-PCI是用于测量二维精密的平面位移的测量系统。NG是一个XY网格编码器系统,湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的,该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中,能够其激光干涉仪的,并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。
应用领域
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高的位置控制;
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实时校准;
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精密金刚石车削实验室;
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镜头自动对焦;
主要特点
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亚纳米的分辨率;
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重复性小于5nm;
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低阿贝误差;
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对湍流效应及大气压强变化不敏感;
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占地面积小,重量轻;
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可选真空版本;
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易于安装,包括栅格安装的应力消除;
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栅格和探头的间隙为12mm;
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对准误差低;
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完善的技术支持;可定制;
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运作;
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