概述
NG XY计量系统用于测量二维精密平面位移,NG是一款可以避免湍流效应的基于栅格的XY的编码系统,湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的,该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中,能够其激光干涉仪的,并且以一个更经济的价格、更实用和更新坚固的制造工艺来封装它。
应用领域
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高的位置控制;
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实时校准;
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精密金刚石车削实验室;
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镜头自动对焦;
主要特点
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测量重复性为±20nm;
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低阿贝误差;
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对湍流和大气压强的变化不敏感;
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分辨率可选20nm;
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易于安装;
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栅格和探头之间的间隙为12mm;
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对准误差低;
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可选真空版本;
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完善技术支持,可定制;
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标准的A-quad-B 输出;
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的精密XY计量系统。
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