上海睿游电子科技有限公司射频电源维修范围：
刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修，进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源维修 ,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源 ,美国AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle，Pinnacle，Diamond系列
AE电源维修：
DC( 直流系列 ) :
MDX Series: MDX500， MDX-L12M、MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW，MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw，MDX II 18P
AC( 交流 / 中频系列 ) :
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG
PEII :PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW AE 电镀电源维修 PEII-10KAE 电镀电源维修 PEII-5K
RF ( 射频系列 ) :
RFG : RFG 80,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000,RFG 3001,RFG 5500,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000,RFDS 2Kw-2KV
RFX : RFX 600,RFX 600A,RFX 1250,RFX 2500,RFX 5500,RFG-AZX
RFX II : RFX II 1250,RFX II 3000,RFX II 5500
