| ● X、Y、Z轴0.5μm分辨率； ● 可选配白光纳米检测模组； ● Z轴粗调/微调旋钮； ● 同轴表面光/底光测量； ● 内建偏光量测光学模块； ● 可量测透明材质纳米级高度差 | ||||
| 规格型号 | MTM-1510M | MTM-2010M | ||
| 工作行程X、Y、Z轴 | 150*100*120（mm） | 200*100*120（mm） | ||
| 金属台尺寸 | 210*160（mm） | 260*160（mm） | ||
| 玻璃台尺寸 | 354*228（mm） | 404*228（mm） | ||
| 光学尺分辨率 | 0.5μm | |||
| 示值误差 | X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm） | |||
| 影像系统 | 彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件 | |||
| 显微镜系统 | 目镜：10倍 | |||
| 滤光片：红，蓝，绿，白 | ||||
| 测量模式：反射，，偏光 | ||||
| 5孔物镜转换器 | ||||
| 物镜放大倍率误差 | 包括畸变在内的放大率误差≤0.008% | |||
| 总放大倍数 | 50X——500X | |||
| 照明系统 | 照明光源：白光LED，亮度可调 | |||
| 同轴照明光源：卤素灯，亮度可调 | ||||
| 物镜 | ||||
| 倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
| 工作距离（mm） | 26.1 | 20.2 | 8.8 | 3.68 |
| 高度量测模块（选配件） | 光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配） | |||
| 倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm | ||||
| 其它参数 | ||||
| 外形尺寸（mm） | 590*560*850 | |||
| 仪器重量（kg） | 100 | 110 | ||
| 电源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W | |||
| 单层透明膜厚度测量模式 | ||||
| 高测量模式 | 快速测量模式 | |||
| 厚度测量范围 | 100nm-300nm | 300nm-500nm | 500nm-3μm | 3μm-20μm |
| 分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |
