）型号规格：FLY 15108
l 测量范围：X=
l 空间测量示值误差：E≤3.5+L/250μm
l 探测误差：R≤3.6μm
l 分辨率：0.5μm
l 移动速度：
l 承受重量：
l 主机重量：
l 主机外型尺寸：
2）原装控制系统
3）精密过滤器
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