产品特点
■适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业
■适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■适用于光伏拉晶铸锭及IC半导体器件企业
■适用于科研部门、高等院校及需要量程测量电阻率的企业
■测量高,除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能
■的设计能消除测量引线和接触电阻产生的误差,实现了测量的高和宽的量程范围
■双数字表结构使测量更,操作更简便。
■具有强大的测试数据查询及打印功能
■测量系统可实现自动换向测量、求平均值、值、小值、平均百分变化率等
■四探针头采用红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性大大
■采用元器件,留有更大的系数,大大了测试仪的性和使用寿命
■测量电流采用高度稳定的恒流源(五),不受气候条件的影响
■具有正测反测的功能,测试结果的准确性
■具有强磁场和高频设备的性能
推荐工作条件
■温度:23&plun;2℃
■湿度:≤65%
■无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射
技术指标
■可测电阻率范围:10‐5—1.9×105Ω•cm(可扩展)
■测量<3%
■AC 220V&plun;10%50/60 Hz、功率:12W
典型客户
北京,浙江,四川,河北,河南等地的硅料生产企业及半导体光伏拉晶客户。