搭载双向分离工检测器（半导测器+比例计数管）：搭载在X射线能量分辨率上，的半导测器（起作用液化氮）和计数率的比例计数管，能够根据运用需要对应使用。特点是半导测器，能够区分Ni和Cu这样相似的元素。它有以下的特点：1.能够对Ni/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次过滤的情况下进行测定。2.对于含Br的打印基板，可以做到不受Br干扰进行高的Au镀膜厚度测定。 3.能够测定0.01μm以下薄的Au镀膜。4.薄膜FP软件：对应含铅的合金镀膜和多层镀膜等，适用于广泛的运用领域。5.适用测定微小部分,15μmΦ的准直管为标准装备。能够测定微小部分镀膜厚度。 6.搭载75WX射线管。7.容易对微小领域进行观察。搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。8.能够测定大型打印基板的大型平台。9.依据照明，能够观察以往观察的样品。10.搭载了有凹凸的样品碰撞的传感器。11.利用伺服马达的驱动平台。12.正确的对焦,利用激光能够正确得对焦测试样品。13.制作软件,运用微软的软件能够简单得把测定的数据制作成书面材料。
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