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1. X射线发生系统采用了聚光导管 由于采用了X射线聚光导管方式，可得到以往十的X射线强度，从而可以微小样品的膜厚测量及有害物质测量的。
2. 无需液氮的半导测器 在进行薄膜测量与有害物质的浓度测量时，高分辨率的检测器是不可少的。SFT9500的检测器不但可以高分辨率，而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。
3. 能谱匹配软件（选配件） 可识别未知样品与事先存档的X射线能谱库中哪一个样品较为接近的软件。对识别材料十分。
4. 块量线软件（适用于电镀液分析） （选配件） 可简单地测量出电镀液中主要金属的浓度。
5.绘图软件（选配件） 将元素面分析的结果进行等高线和色彩使用等视觉处理的软件。
6. 电镀液容器（选配件）
7. 各种标准物质（选配件）
