型号 Vast1000C
范围 1000×1000×100mm
测量准确度 3.5＋L/300（um）
测量准确度 3.0＋L/150（um）
分辨率 0.1um
光学可编程12：1光学放大20x-245x with1xObject Lens
照明 LED Coaxial Light/LED背光源
表面LED环形灯 LED环形灯5Rings×8 Sectors×40 Segments
线扫描激光器平整度激光扫描分析软件
同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器
接触式探针 RENISHAW接触式探针使用iTouch软件
范围 1000×1000×100mm
测量准确度 3.5＋L/300（um）
测量准确度 3.0＋L/150（um）
分辨率 0.1um
光学可编程12：1光学放大20x-245x with1xObject Lens
照明 LED Coaxial Light/LED背光源
表面LED环形灯 LED环形灯5Rings×8 Sectors×40 Segments
线扫描激光器平整度激光扫描分析软件
同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器
接触式探针 RENISHAW接触式探针使用iTouch软件
