具采用的密封充气紫外光学系统和OPI水平观测等离子光学接口完成消除水平观测时尾焰的影响、全谱CCD技术和多视角等离子体定位等新技术，有高灵敏度、高以及波长范围宽（130nm-770nm）等特性，在ICP-O 领域开拓了的应用，可分析包括ppm级卤素在内的73个金属和非金属元素。
技术参数：
1.光谱范围130－770nm
2.三光栅：3600线/mm（2个），1800线/mm（1个）
3.动态范围大于等于8个数量级
4.可在30秒内完成73个元素的全谱定量测试，分析速度：≥60个样品/小时
5.短积分时间0.1ms，可与HPLC/GC联机使用
主要特点：
▲一维色散＋32个CCD检测器设计，检测器无需温冷却，无需氩气吹扫保护。
▲全波长覆盖，为130－770nm的波长范围，可以分析ppm级卤素。
▲密闭充氩循环光路系统，检测190nm以下谱线，无需气体吹扫。
▲轻松检测单晶/多晶硅及金属硅生产企业中P（磷）B（硼）等元素。有低检出限，可弥补ICP-MS不足之处。
▲3秒实现真正全谱数据采集，分析速度快。每小时可分析60个样品。
▲气体流量采用质量流量计计算机控制，矩管位置3维步进马达计算机控制自动化程度高。
技术参数：
1.光谱范围130－770nm
2.三光栅：3600线/mm（2个），1800线/mm（1个）
3.动态范围大于等于8个数量级
4.可在30秒内完成73个元素的全谱定量测试，分析速度：≥60个样品/小时
5.短积分时间0.1ms，可与HPLC/GC联机使用
主要特点：
▲一维色散＋32个CCD检测器设计，检测器无需温冷却，无需氩气吹扫保护。
▲全波长覆盖，为130－770nm的波长范围，可以分析ppm级卤素。
▲密闭充氩循环光路系统，检测190nm以下谱线，无需气体吹扫。
▲轻松检测单晶/多晶硅及金属硅生产企业中P（磷）B（硼）等元素。有低检出限，可弥补ICP-MS不足之处。
▲3秒实现真正全谱数据采集，分析速度快。每小时可分析60个样品。
▲气体流量采用质量流量计计算机控制，矩管位置3维步进马达计算机控制自动化程度高。
