随着多晶硅,硅片,大阳能电池板工艺的不断发展与,光伏产业对硅片质量的检测要求也越来越高。由于国外的光学检测太贵,对非原材料生产厂家是一笔很大的支出,而又需要对进的硅片进行检测,针对这种情况,上海长方光学仪器厂开发了针硅片检测的系统。该系统可以对太阳能电池硅片的”金字塔”的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析。(例如:上海长方生产的硅片检测显微镜:CGM-600E)
例如:硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析。杂质包括:颗粒、杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。是太阳能电池硅片生产过程中不可少的检测仪器之一。CGM-600E大平台明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头。本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔”的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器。