我们生产的每一台气体质量流量控制器都是由公司的技术工程做过仔细检查且检测通过的产品,用户拿到手无需在做标定便可,对于安装的使用方面的问题我们技术员可以会天接收你的电话询问,对于无法解决的关键性问题我们视情况确定如何为尊敬的用户提供援助,我们会以你的利益为解决问题的执行目标。质量流量控制器安
详细介绍
我们生产的每一台气体质量流量控制器都是由公司的技术工程做过仔细检查且检测通过的产品,用户拿到手无需在做标定便可,对于安装的使用方面的问题我们技术员可以会天接收你的电话询问,对于无法解决的关键性问题我们视情况确定如何为尊敬的用户提供援助,我们会以你的利益为解决问题的执行目标。安装会比较简单,但是在这个过程中如果有任何问题也可以联系我们技术员,他们会给你的解答!
概要
LF400系列气体质量流量控制器采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。
气体质量流量控制器可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
气体质量流量控制器产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,高,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器(气体质量流量控制器):
-低单价
-高耐压
-环境温度补正
-可应用的流率范围广:
-可选择:
0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
-0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
o 气体质量流量控制器可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
其他说明
功能 | 流量计/控制器( 气体质量流量控制器 ) | |
基本型号 | LF400-F | |
满量程流量范围(N 2 ) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
(%F.S) | &plun;1(≤15SLM) | |
&plun;1.5(>15SLM.) | ||
控制阀动作型式 | 常闭式 | |
线性(%F.S.) | &plun;0.5~1(≤15SLM) | |
&plun;1.5%(>15SLM.) | ||
重复(%F.S.) | &plun;0.2 | |
响应时间(sec) | ≤1 | |
流量输出信号 | 0-+5 DCV | |
流量设定信号 | 0-+5 DCV | |
电器接头 | DB15 pin(接头) | |
工作环境温度 | (℃) | 5~45 |
工作压差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1*10 -9 |
耐压 | 10MPa | |
介质接触材质 | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,橡胶,聚四氟乙烯 | |
接头尺寸 | VCR 1/4,1/2 | |
Swagelok1/8",1/4" ,3/8" ,1/2"或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12mm | ||
电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA |