该系统利用花岗石平板相互垂直的两个平面，作为高气浮区。真空吸附滑块在相互垂直的高气浮区做无摩擦的高直线运动。
本机直线度0.5微米／800毫米。当环境条件（温度、湿度、震动、气源）理想状态下，直线度会更高。
工作原理：通过平行移动仪器主机，与被测工件进行比较，记录可微调的测量表的指示值，将数据输入到计算机，计算出直线度。
测量结果，测量范围可根据用户需求制作，具有可转方向、可微调的测量表夹持杆，可杠杆千分表、数显表、电感测头等。
本机直线度0.5微米／800毫米。当环境条件（温度、湿度、震动、气源）理想状态下，直线度会更高。
工作原理：通过平行移动仪器主机，与被测工件进行比较，记录可微调的测量表的指示值，将数据输入到计算机，计算出直线度。
测量结果，测量范围可根据用户需求制作，具有可转方向、可微调的测量表夹持杆，可杠杆千分表、数显表、电感测头等。
其他说明
| 指标： | ||||
| 序号 | 测量范围 | 导轨 | 工作平台 | 工作环境 |
| 1 | 1000mm | 2μm | 00级 | 恒温恒湿 |
| 2 | 2000mm | 5μm | 00级 | 恒温恒湿 |
| 3 | 3000mm | 8μm | 00级 | 恒温恒湿 |
