质量流量控制器

　　SERI（高型）
　　概要
　　LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
　　可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
　　产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
　　特点
　　模拟式热质式流量计/流量控制器：
　　环境温度补正
　　可应用的流率范围广：
　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
　　高
　　±1%（≤15SLM）
　　±1.5%（＞15SLM.）
　　可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
　　国际兼容
　　应用
　　工业设施的气体供应监测/控制。
　　气体分析设备。
　　固定气体流量控制。
　　气体混合或分离设备
　　标准气体质量流量用氮气（N2）标定。
　　标准状态规定为：
　　标准温度………………0℃（273.15K）
　　标准压强………………101325Pa
　　输入输出
　　输入设定电压…………0～＋5.00V
　　输出电压检测…………0～＋5.00V
　　型号
　　LF400-A  □  □  －  □□□  －  □□□  －  □  □  □
　　型式  A  模拟式
　　  B  数字式
　　功能    M  流量计
　　    C  流量控制器
　　流量范围    ABC  
　　气体种类    013  N2
　　    008  Air
　　    015  O2
　　    004  Ar
　　    025  CO2
　　    001  He
　　    FFF  其他
　　接头  1/4"VCR  1  
　　  1/2"VCR  2  
　　  3　SWL  3  
　　  6　SWL  4  
　　  其他  F  
　　讯号  DC　0~5V  1  
　　  其他  2  
　　电源  DC＋/-15V  1
　　流量范围是以mL/min，L/min　为单位
　　例：
　　5mL/min　表示为005
　　500mL/min表示为500
　　50　L/min（nor）表示为50L
　　规格（热式）
　　功能  流量计/控制器
　　基本型号  LF400-A
　　满量程流量范围（N2）  SCCM  0～5，10，20，30，50，100，200，500
　　  SLM  0～1，2，3，5，10，15，20，30
　　（％F.S）  ±1（≤15SLM）
　　  ±1.5（＞15SLM.）
　　控制阀动作型式  常闭式
　　线性（％F.S.）  ±0.5～1（≤15SLM）
　　  ±1.5％（＞15SLM.）
　　重复（％F.S.）  ±0.2
　　响应时间（sec）  ≤1
　　流量输出信号  0-5　V，RS232，485
　　流量设定信号  0-5　V，RS232，485
　　电器接头  DB15　pin（接头）
　　工作环境温度  （℃）  5～45
　　工作压差  （MPa）  0.05～0.5
　　漏率  SCCSHe  1×10-10
　　耐压  3MPa
　　介质接触材质  304，316，316L
　　密封材料  氟橡胶，硅橡胶，聚四氟乙烯
　　接头尺寸  VCR　1/4、1/2
　　  Swagelok1/8"、1/4"、3/8"、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
　　电源要求  ＋15V，50mA；-15V，200mA