SERI（小体积型）
概要
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
模拟式热质式流量计/气体质量流量控制器：
低单价
环境温度补正
可应用的流率范围广：
0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
高
±1%（≤15SLM）
±1.5%（＞15SLM.）
可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容
应用
工业设施的气体供应监测/控制。
气体分析设备。
固定气体流量控制。
气体混合或分离设备
标准气体质量流量用氮气（N2）标定。
概要
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
模拟式热质式流量计/气体质量流量控制器：
低单价
环境温度补正
可应用的流率范围广：
0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
高
±1%（≤15SLM）
±1.5%（＞15SLM.）
可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容
应用
工业设施的气体供应监测/控制。
气体分析设备。
固定气体流量控制。
气体混合或分离设备
标准气体质量流量用氮气（N2）标定。
