纯氦气净化器是采用新型贵金属合金净化剂，与各种气体反应形成稳定的化合物或固溶体，使气体目的净化的目的。
产品气流量：1-3000Nm3／h
产品纯度：99.999%-99.％
特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可ppb级净化。
适用范围：微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。
产品气流量：1-3000Nm3／h
产品纯度：99.999%-99.％
特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可ppb级净化。
适用范围：微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。
