低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要应用于中低真空领域。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;
利用带电粒子效应的典型真空计有热阴电离规和冷阴电离规一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
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