蓝宝石X射线晶体定向仪针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计，主要用于晶圆片、晶棒的测量。
YX-2D6通用型配置如下：（适用晶片、晶棒）
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111，100，211等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A，C，R面等角度。
2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111，100，211等角度；能测晶棒Φ2---Φ6英寸，400㎜长晶棒端面 111，100等角度。蓝宝石A，C，R面等角度。
YX-2D6通用型配置如下：（适用晶片、晶棒）
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111，100，211等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A，C，R面等角度。
2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111，100，211等角度；能测晶棒Φ2---Φ6英寸，400㎜长晶棒端面 111，100等角度。蓝宝石A，C，R面等角度。
其他说明
| X 射线管 | 铜靶,阳接地,强迫风冷 |
| 管电压 | 30KVP,全压合闸 |
| 管电流 | 0-5mA,连续可调 |
| 整机功率 | 交流220V 不大于0.3KW |
| 综合 | &plun;30″ |
| 角度数字显示 | 以度,分,秒显示,小读数10″ |
| 计数器旋转角度 | 2θ角-10°------+110° |
| 样品晶体旋转角度 | θ角-10°------+55° |
| 计数管 | 盖革计数管,工作电压500-----1100V |
| 时间常数 | 分0.1,0.4,3秒三档可调 |
| 保 护 | 高压连锁保护,温度保护 |
| 狭 缝 | 4′,5′,6′ |
| 可测晶体重量 | 重30KG的晶棒 |
| 可测晶体直径GA | Φ2-------Φ6 英寸晶圆片 |
| 可测晶棒长度GC | Φ2-------Φ6 英寸 ,400 毫米长晶棒 |
| 工作位 | 双测角仪,双工作台 |
| 外型尺寸 | 1140mm*650mm*1030mm |
| 仪器重量 | 200KG |
