主要用于对影像测量仪(二次元)、投影仪、工具显微镜等测量仪器的比例尺校准
尺寸:63*63mm
厚度:2.0mm
光刻板基材:Quartz;Soda Lime
小线宽:1.0um
接触孔:1.5*1.5um
Cd公差:正负0.1um
均一性(范围):0.12um
套刻:0.12um
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15994283874

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