| 型号 | Stream564 | Stream786 | |
| 行程mm | X-Axis | 500 | 700 |
| Y-Axis | 600 | 800 | |
| Z-Axis | 400 | 600 | |
| 光栅尺分辨率(μm) | 0.5 | 0.5 | |
| 指标/μm Accoracy1064-2000 | 3.5+L/300 | 3.5+L/300 | |
| Z轴平衡 | 配重块 | ||
| 锁紧系统 | 气动锁紧 | ||
| Dimension WxDxH | 930*1010*2180mm | 1150*1130*2480mm | |
| 机器重量 | 850kg | 1250kg | |
| 机器承量 | 500kg | 500kg | |
| 压缩空气 | 0.4MPA(4kgf/cm2) | 0.4MPA(4kgf/cm2) | |
| 40L/min | 40L/min | ||
| 温度 | 20℃&plun;2℃ | 20℃&plun;2℃ |
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