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［SFT-110的主要特征］1. 通过自动定位功能操作性 测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大样品定位的操作性。2. 微区膜厚测量 通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度膜厚测量的。3. 多达5层的多镀层测量 使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。4. 广域观察系统（选配） 可从250×200mm的样品整体图像指定测量位置。5. 对应大型印刷线路板（选配） 可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。6. 位 与以往机型相比，既了功能性又降低20%以上的价格。
产品规格
| 检测器 | 比例计数管 |
| X射线源 | 空冷式小型X射线管 |
| 准直器 | 0.1、0.2mmφ2种 |
| 样品观察 | CCD摄像头 |
| 样品台移动量 | 250（X）×200（Y）mm |
| 样品高度 | 150mm |
