射频电源
我司长期以来专注于国内外射频电源的维修服务,积累了丰富的维修经验并且配有国际先进的维检设备,维修后的所有产品都带载老化测试,各项指标均达出厂时的标准才交与客户,返修率几乎为零,我们的维修追求的目标就是零返修率,而且保修时间长。我司维修的主要品牌有:
AE电源系统: AE电镀电源、AE射频电源 RFG:RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX:Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
美国COMDEL射频电源: 应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源