一、基本技术参数
1．型 号：FUNION 564
2．行 程：X轴——700mm Y轴——800 mm Z轴——600 mm
3．结构型式：活动桥式
4．传动方式：直流伺服系统+预载荷高空气轴承
5．长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
6．机 台：高花岗岩平台
7．使用环境：温度(20&plun;2)℃，湿度55%-65%，温度梯度1℃/m，温度变化1℃/h
8．空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
9．空气流量：120 L/min – 140 L/min
10．整机尺寸(LWH)：1.8 mX 1.4 m X 2.6 m
11．机台承重：800 kg
12．整机重量：1500Kg
13．空间测量：（3+L/300）μm
二、控制系统及探针测量系统：
1．驱动系统：直流伺服电机
2．控制系统：RENISHAW UCC
3．操作方式：计算机自动控制+微电脑操纵盒
4．控制软件：SEREIN DMIS数控版
5．探测系统：RENISHAW
三、非接触式扫描测量系统(选配）
---------artEye单目激光扫描系统
1．控制软件：MultiScan
2．操作方式：软件控制
3．扫描景深：60 mm
4．单次扫描宽度：50 mm
5．扫描速度：1500 p / sec
6．扫描方式：激光线扫描
7．工件装夹方式：任意装夹
8．扫描：0.05 mm
9．图像采集系统：Euresys图像采集卡+精工镜头+低照度高分辨率CCD
10．激光系统：650 nm波长激光，功率20 mW，连续可调
11．电源：AC 220&plun;5V，50 Hz
12．使用环境：温度≤40℃，湿度≤85%
备注：单CCD测头artEye，可直接加在RENISHAW PH10M的测头座上
