自动对焦，测量性；自动对焦测高，可加配接触式测针。技术参数
| 型号 | IVG2010 | IVG3020 | IVG4030 | IVG5040 |
| 行程(mm) | 200×100×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 外部尺寸(mm) | 1040X740X1620 | 1040X740X1620 | 1240X800X1620 | 1440X1000X1620 |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 测量 | XY轴 | (2.5+L/200)µm | ||
| Z轴 | (5+L/200)µm | |||
| CCD | 像素彩色CCD | |||
| 光学系统 | NITAR镜头，光学放大倍率：0.5x - 4x，总放大倍率：36x - 288x | |||
| 光源 | 轮廓光 | LED方形光源，亮度可调 | ||
| 表面光 | 多角度LED环形光源，亮度可调 | |||
| 光栅尺分辨率 | 0．5µm | |||
| 运动控制 | 多轴高运动控制卡 | |||
| 软件 | microscopeium | |||
| 电源 | 220V/50Hz | |||
| 工作环境 | 温度20℃&plun;2℃，温度变化<2℃/hr，湿度40～80% | |||
| 振动<0.002g，低于15Hz |
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