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2CH静電電位監視装置(KSD-0120)
能用1台控制器连接2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电系统。
因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续可能。
因为有警报设定、如果在了设定的电位时、能与各种制造装置传动。
装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。
KSD-0120的规格
用途
平面显示器生产工序中的带电量。
半导体硬芯片(wafer)的带电量。
LSI 处理中及印刷电路板搬送中的带电量。
構成
KSD-0120 | |
本体に付属 | |
KS-2100 | オプション、2台迄使用可能 |
KSD-0120用ACアダプタ | オプション |
仕様
本体
KSD-0120 |
レンジ(1) &plun;1~&plun;1999V レンジ(2) &plun;0.01~&plun;19.99kV |
0~&plun;5V |
2チャンネル設定 |
オープンコレクタ(制御設定出力及びセンサ故障出力) |
DC12~24Vまたは 専用ACアダプタ(AC100V/オプション) |
500mA(DC12~24V) |
温度0~40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと) |
約580g(取付金具含む) |
専用ACアダプタ(オプション)
KSD-0120用ACアダプタ |
AC100V 50/60Hz |
DC12V |
1580mm |
約385g |
センサ(オプション)
KS-2100 |
振動型表面電位センサ |
レンジ(1) &plun;1~&plun;2000V レンジ(2) &plun;0.01~&plun;20.00kV |
0~&plun;5V |
&plun;10%以内 |
レンジ(1) 10mm レンジ(2) 50mm |
検出センサ故障LED表示、外部出力 |
KSD-0120より供給 |
温度0~40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと) |
約100g(ケーブル含まず) |
専用ケーブル5m(100m迄延長可能) |
寸法?各部の名称 (寸法単位[mm])
本体
センサ
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