| 这一系列的产品都有两个空气压缩振荡器；水平方向和垂直方向。使用MAPS系列产品，可以体会到卓越的除震(主动抑制振动)和保持精密位置的性能。 主要特征： 隔振频率范围是被动系统无法实现的； 大负载，可以为一个10 吨以上的设备提供防震； 的位置重复性能； 容易安装； 高性能，但价位较高； 主要应用： 纳米科技领域 例如：MEMS应用，原子力显微镜，原子成像设备等 半导体、液晶制造或检测领域 例如：半导体传送设备，半导体加工设备，液晶检测仪器等 航空、航天、航海等特殊领域 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| MAPS系列规格（MAPS Series specificaiton） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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