简单介绍
ST2258A薄层电阻测试仪，方块电阻测试仪： ST2258A型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻（简称方阻），换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。
ST2258A薄层电阻测试仪，方块电阻测试仪的详细介绍
ST2258A薄层电阻测试仪，方块电阻测试仪主要技术参数1.常规测量范围、分辨率（量程可向上或下扩展1～2个数量级）电 阻： 1.0×10-4～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω电 阻 率： 1.0×10-4～ 200.0×103Ω-cm 分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω-cm方块电阻： 1.0×10-3～ 200.0×103Ω/□ 分辨率1.0×10-3～ 0.1×103 Ω/□2.可测半导体材料尺寸直 径： 测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.长（或高）度： 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.3.量程划分及误差等级
| 量程 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
| kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
| 基本误差 | ±2%FSB±4LSB | ±1.5%FSB±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB±4LSB |
| 量程 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 |
| kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
| 基本误差 | ±1.5%FSB±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB±4LSB |
