主要技术参数：
1.测定：Z：( 1 +｜0.04h um ) X：(1 + 0.02L ) um L=测定长度mm
2.测定范围：纵（ Z ）58 mm、横（ X ）100mm
3.X、Z 轴 Scale 分解能：Z:0.1um、X：0.1μm
点数：125,000点，间隔0.5um以上
4.测定倍率（X . Z）：0.01~10000 倍
5.驱动速度：0.02、0.05、0.1、0.5、1、2mm / s（回程速度：驱动速度0.02 ~ 10 mm / s）
6.真直度：1μm / 100 mm
7.圆孤补正方式：数字式圆孤补正
8.检出器 PU-FJ25
8-1. Stylus：R25μm 超硬SB-610
8-2.测定力：10~ 30 mN,可变
8-3.追随角度：爬升77° 、下滑 87°
8-4.补助机能：跳动机能、过负荷停止、Stylus电动上下、测定范围限制
9.测定方向：上、下两方向（PU-FJ25），或推 / 拉两方向。
10.驱动装置倾斜角度：± 45°
11.检出器上、下动范围：200 mm 自动停止含电动上下
12.形状解析机能：标准配件
13.电源：AC 100V 50/ 60 HZ 550 VA
14.设置尺寸：640*685*315mm 测定装置部约70kg，解析部约10kg
