- 类型：
- 质量流量计
- 测量范围：
- -- m3/h
型号: SLA5851S 品牌: BROOKS 上海网磁电子有限公司供应美国原装、全新
的质量流量计－MFC,BROOKS。用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。
气体的量程：50－120SLM,数字和模拟兼容
电气接口：D型15针 管道接口：3/8"VCR
交货周期：4周左右，长期订货，周期还会短。
可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
(13.5-27 volts DC range).
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL (open collector) Alarm Output signal
Digital Communication Options:
• DeviceNetTM, ODVATM certified
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
• HART® based RS-485 multidrop 全线代理韩国TK的各种接头、阀门、不锈钢管，欢迎洽谈。
