5850S/E气体质量流量计
BROOKS 5850E型流量控制器能的测量和控制气体流量。其是一个可拆卸的测量气体流量的探头，该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。
操作原理
BROOKS流量控制器运用热动力学原理，一个有电源的加热器为内有连续稳定气流的 传感器套管的中部加热，在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。 没有气流时，到达两个温度测量元件的热量是相等的：有气流时则气流带走热量，两温度 测量元件就有了温度差异，温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电 路来反映，然后放大装置，以0－5V的输出电压输出到控制电路。
在无流量的情况下，热量会均匀的分散在每个温度元件中，随着流量的增加，流体带着 热量从上游（该处温度为T1）到达下游，则下游温度上升（该处温度为T2），不同的温度上升通过两处元件显示，这种差异均衡的计量了气流或流速，电路显示温度的不同而放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制电磁阀。当设定值低于2％时，控制阀关闭，控制阀由它的控制电路控制能打开或关闭。控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制电磁阀。当设定值低于2％时，控制阀关闭，控制阀由它的控制电路控制能打开或关闭。
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品同现有的工业仪表兼容，安装简便。
技术参数:
数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
流量范围:0.03-30slpm
工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
电气接头:15 Pins D-Te或Card-edge
:±1%FS
信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL报警
内置微处理器，智能化、数字化。软件组态，数字通讯，支持微软Windows动态数据交换。
流量范围：0-30L/MIN；
：1%FS；
压力：1500psi；
温度：65℃；
输入/输出：0-5V；
电源：+/-15V
