上海睿游电子科技有限公司维修真空溅镀系统分子泵和磁控溅射电源的公司，磁控溅射电源涵盖美国AE( Advanced Energy)电源,ADL电源，M2电镀电源等，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备了和全面的电源的维修知识和技能，多年来成功地为国内外客户维修各种等离子镀膜电源，获得了国内外业界的客户和朋友的认可。
维修分子泵控制器,分子泵电源,UV灯控制器.服务品牌非常全面，包括: 美国AE电源, 美国ENI电源,日本M2德国SINGULUS电源,Alcatel/Aixen法国阿尔卡特分子泵、Leybold德国莱宝分子泵、Pfeiffer-vacuum德国普发分子泵、BOC Edwards爱德华分子泵、VARIAN瓦里安分子泵维修保养:高真空涡轮分子泵,复合分子泵,氢气氦气检漏仪,质谱仪,工艺干泵,离子泵,钛升华泵,罗茨泵.
PFEIFFER控制器维修 LEYBOLD德国莱宝真空分子泵驱动维修 Alcatel/Aixen 阿尔卡特分子泵控制器维修
PFEIFFER 德国普发真空分子泵 VACUUM TIC250/TCP015/TW250/TCP121/TC600/TCP380等型号
LEYBOLD德国莱宝真空分子泵控制器型号:TurboVAC150/151/361/1000/T1600/TW70/300/700 等型号
Alcatel/Aixen阿尔卡特分子泵控制器型号:ACT250/ACT100T/ACT600T/ACT200T/ACT100T等型号
Edwards STP301 DN100CF Inlet BEdwards STP301C ISO100 inlet KF25 outlet BEdwards STP301C ISO100 Inlet BEdwards STP301C ISO100 inlet KF40 outlet BEdwards STP301C DN100CF Inlet BEdwards STP301对应的备件订货号为：Edwards STP straight connection cable, 5m BEdwards Connection cable, 12m PT21Y0B08Edwards STP straight connection cable, 3m BEdwards STP301磁悬浮分子泵用途为：Plasma etch (chlorine, fluorine and bromine chemistries) formetal (aluminum), tungsten and dielectric (oxide) and polysiliconElectron cyclotron resonance (ECR) etchFilm deposition CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVDSputteringIon implantation source, beam line pumping end station
BOC Edwards STP 301 STP 451 STP 603 STP 1003 STP 301C STP 451C STP 603C STP 1003C
爱德华Ultra High Vacuum Range分子泵
