转台式等离子体刻蚀系统

TT-1  转台式等离子体刻蚀系统
工业用表面改性系统

TT-1是一款材料表面改性系统，具有一套旋转式电极设计，专门用于引线键合行业设计。完全满足均匀处理多个开槽式引线料盒的等离子表面改性需求。

工业用表面改性系统纵览

TT-1  工业用表面改性系统基于P-1等离子表面活化处理系统建造，具有同样的坚固和可靠特性，是一款创新的等离子蚀刻表面改性系统。 全铝真空舱配备圆形、可旋转表面改性工作区，可提供绝缘式等离子改性处理或直接接触电极处理方式。

TT-1工业用表面改性系统设备用于有效处理多孔及非多孔料盒。载料接等离子改性处理快速高效，生产效率高，清洗满足苛刻的等离子表面改性处理要求。真空舱内置两套电极，电极直接高达61厘米。操作人员装载料盒至于电极上，等离子表面活化处理过程中，转台以匀速旋转，确保表面改性的均匀性。

TT-1  工业用表面改性系统特点

工业粉末涂层框架具有易于清洁设计，保护等离子处理环境免于污染；等离子表面改性处理引线框的关键是均匀性。而使用更少的劳动力和化学品费用减少，无需消除不受欢迎的化学废物而花费昂贵的处理的清理

直观且简单易用的触摸屏界面控制每一个等离子清洗过程的环节，从而确保可靠性和可重复性。

在接触角测试实验中，证明在多孔料盒处理中角度较高，而在非多孔聊盒处理中具有稍微减小的角度。 总体实验结果被证明等离子表面改性处理优良且具有一致性。

TT-1  工业用表面改性系统规格

标准TT-1  工业用表面改性系统特点
电极设置：单套直径43cm旋转电极； 电极控制电子慢跑及旋转速度控制；
射频电源：600瓦@13.56MHz射频电源;自动匹配器网络 
工艺气体控制：2通道500 SCCM质量流量控制器 （MFC）
真空监测系统：皮拉尼真空计0-1托
控制器系统：微处理器系统，配备触摸屏界面；多序列存储
真空泵浦系统：氧气服务真空泵 ，配备增压器鼓风机29/335； 3微米真空泵油过滤芯，2点自动氮气N2吹扫； 真空泵排气油雾凝聚式过滤器; 双处理顺序
3微米真空泵油过滤芯， 真空泵油雾分离器；

TT-1  工业用表面改性系统其它可选功能
1250瓦射频电源；
真空泵自动N2吹扫；
多达4个通道低气压工艺气体报警器；
计算机控制系统/触摸屏、数据、事件查看、打印
信号灯塔
干式真空泵29/335CFM
真空节气门控制器
多达4通道质量流量控制器
可控N2(氮气)真空舱吹扫流量
石油除雾器
根据客户定制真空舱及电极设置

业用表面改性系统外部尺寸：79cm X 76cm X 178cm
真空泵外部尺寸： 41cm X  76cm X43cm
系统重量（业用表面改性系统/真空泵）550/70公斤