详细描述
1 、非接触式测量:避免物件受损。
2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6 、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
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1 、非接触式测量:避免物件受损。
2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6 、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。