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产 地: 国产
数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途半导体参数综合测量装置,是一款带PC机电脑软件的智能化数字化四探针测试仪!也称电阻率测试仪|方块电阻测量仪|体积电阻率测试仪,它可以测量单晶体|多晶体|纳米涂层|高分子材料|导电塑料|导电橡胶|ITO膜|导电薄膜等金属导体|非金属半导体材料的电阻率|方块电阻|方阻,也可测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻|方阻|表面电阻)。测试规范符合国家标准和美国试验与材料协会ASTM标准,利用四端子测试原理,换上特制的四端子测试夹具,还可以对金属导体、开关触点的低、中值接触电阻进行测量。 仪器由四探针主机|四探针测试探头|四探针测试台(可选电动四探针测试台)等部分组成,测试结果由主机数码管直接显示。主机也可连接PC机由配套四探针测试软件在PC机上操作,其数据可由软件显示、分析、保存和打印! 主机主要由精密恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成,自动转换量程。测试探头采用高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长。仪器具有测量高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。 仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合。 三、基本技术参数 3.1测量范围 电阻率: 10-4~105Ω-cm 方块电阻: 10-3~106Ω/□ 电 阻:10-4~105Ω 3.2可测半导体材料尺寸 直 径: Φ15~100mm, 长(或高)度: ≤400mm 2.3测量方位: 轴向、径向均可 2.4. 4 1/2位数字电压表: ⑴量程: 200mV ⑵误差:±0.1%读数±2 字 2.5数控恒流源 ⑴电流输出:直流电流 0~100mA 连续可调,由交流电源供电。 ⑵量程:1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA ⑶误差:±0.5%读数±2 字 2.6四探针测试探头 ⑴探针间距 1mm (2)探针压力: 0~2kg 可调,压力约 2kg (3)探针:碳化钨,Φ0.5mm 2.7.电源 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W 2.8.外形尺寸: 主机 260mm(长)×210 mm(宽)×125mm(高)