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191、ESSA高分辨率光栅尺SM12
测量长度：0-12mm
分辨力：0.005，0.001 ，0.0005 ，0.0001mm
输出信号： 5V TTL方波 ，长线驱动（差分输出）
工作温度：0 - 40°C
192、ESSA高分辨率光栅尺SM30
测量长度：0-30mm
分辨力：0.005，0.001 ，0.0005 ，0.0001mm
输出信号： 5V TTL方波 ，长线驱动（差分输出）
工作温度：0 - 40°C
193、ESSA高分辨率光栅尺SM50
测量长度：0-50mm
分辨力：0.005，0.001 ，0.0005 ，0.0001mm
输出信号： 5V TTL方波 ，长线驱动（差分输出）
工作温度：0 - 40°C
