- 品牌/商标:德国PI
- 企业类型:制造商
- 新旧程度:全新
- 原产地:德国
实现测试过程中三维纳米级微小位移,该系统由宏动和微动两套X-Y-Z位移系统组成。 X-Y-Z轴宏动、微动组合的闭环控制;
X,Y轴宏动行程:15mm; Z轴宏动行程:25mm;
X,Y,Z轴宏动分辨率:<0.01μm;X,Y,轴宏动平台负载:3kg;
Z轴宏动平台负载:2kg;X,Y轴微动行程:100μm;Z轴微动行程:25μm; X,Y轴微动分辨率: 0.4nm; X,Y轴微动平台负载:1kg; Z轴微动分辨率:0.1nm; Z轴控制器响应频率:1.7kHz; Z轴微动平台负载:0.2kg;
软件:提供适用多种语言的驱动实用模块库;所提供的软件功能强大,操作简单,定位,具有RS-232 TCP/IP,USB,IEEE488 接口。