X 射线荧光 (XRF) 仪器的工作原理是将样品通过X荧光射线进行激发，样品吸收 X 射线能量，进入激发状态，然后发射出二次 X 射线。每个化学元素发射出的 X 射线都有其特有的能量。通过测量由此发射的 X 射线强度和特征能量，一台 X 射线荧光光谱仪 (XRF) 能够对被测材料的物质成分进行定性和定量分析。牛津仪器 (Oxford Instruments) 所提供的全套产品系列包括手持式和台式 X 射线荧光光谱仪。
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