- 产品品牌：
- Si-plasma
- 产品型号：
- MFPS003
功能 ．应用于真空等离子设备(搭配匹配箱使用)
．变频控制
．定功率控制 (依负载参数而定)
．定电压控制 (依负载参数而定)
．ARC 保护装置
．ARC 次数侦测 特点 ．数位讯号控制器
．输出频率可调整
．功率操作范围大
．高密度等离子源
．等离子效率高、清洁效率高、可靠度高
．全自动且容易操作
．设备稳定高，容易维护
．可依客户需求作更改 应用产业 LCM、IC封装( Flip Chip，CSP，BGA，Lead Frame，etc. )、LED封装、SMT、PCB、FPC、PECVD、Etch、光电元件、电子元件等相关印刷或黏着前之表面粗化、清洁等相关制程产业
